半导体膜
 
 
 
  绝缘膜
 
 
 
  导体膜

  硅烷（SiH4）+氢
  二氯二氢硅（SiH2Cl2）+氢
  氯硅烷（SiCl4）+氢
  硅烷（SiH4）+甲烷（CH4）
  硅烷（SiH4）+氧
  硅烷（SiH4）+氧+磷烷（PH3）
  硅烷（SiH4）+氧+磷烷（PH3）+乙硼烷（B2H6）
  硅烷（SiH4）+氧化亚氮（N2O）+磷烷（PH3）
  六氟化钨（WF6）+氢
  六氟化钼（MoCl6）+氢

  CVD
  CVD
  CVD
  离子注入CVD
  CVD
  CVD
  CVD
  离子注入CVD
  CVD
  CVD