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激光混合气 |
- 一切以气体或蒸汽作为激光工作物质的激光气,统称为气体激光气。这是目前种类最多、发展最快应用最广的一类激光器。通常可以把气体激光器划分为原于气体激光器、离子气体激光器、分子激光器和准分子激光器、气体激光器的激励方式很多,通常采用气体放电激励,此外还可采用电子束激励、气动式激励、化学激励、光激励和核动激励等。气体激光器与液体激光器、固体激光器和半导体激光器一样,已经实现了实用化。它已广泛用于工农业生产、科学研究、国防建设和医疗卫生等领域。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、
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- 水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为第一代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。
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- 常见的激光混合气的组成和主要用途:
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类别 |
混合气组成/(10-2) |
用途 |
H2 |
Ne |
Ar |
N2 |
CO2 |
Kr |
F |
Xe |
CO |
HCl |
平衡气 |
氦氖激光 混合气 |
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2-8.3 |
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He |
用于工业生产,科学研究和国防建设等领域 |
CO2激光 混合气 |
0.4 |
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13.5 13.0 8.0 6.0 16.0 8-12 |
4.5 7.0 8.0 8.0 16.0 6-8 |
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2.0 4.0 2.0 4.0 |
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主要用于激光加工,如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等 |
氪氟激光 混合气 |
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5.0 |
10.0
1-0.2 |
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用于保护膜导光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光 |
密封束 激光气 |
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18.5 |
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3 |
2.5 |
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作研究用的密封束激光气 |
准分子 激光气 |
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25.8 |
9.8 |
0.004 |
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1
5 0.2 |
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5.0
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Ar He He Ar |
准分子激光器用于医疗上的外科手术 | | |
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