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六氟乙硅烷Si2F6
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1.别名·英文名
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六氟化二硅；Disilicon hexafluoride、Hexafluorodisilane．
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2.用途
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含氟非晶硅膜，非晶硅的原料气。
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3.制法
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(1)
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(2)
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4.理化性质
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分子量： 170.16
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升华温度(101.325kPa)： -19.1℃
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三相点(103.991kPa)： -18.7l℃
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液体密度(0℃)： 5997kg/m3
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气体密度(0℃)： 7.76kg/m3
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临界温度： 71℃
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熔化热(103.991kPa，-18.7℃)： 95.9598kJ/kg
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气化热(103.991kPa，-18.7℃)： 159.933kJ/kg
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升化热： 255.8928kJ/kg
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蒸气压(-50.2℃)： 5.706kPa
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(-24.9℃)： 65.595kPa
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(-6.5℃)： 186.918kPa
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六氟乙硅烷在常温常压下为具有强刺激臭的无色有毒气体，在空气中不燃烧。在水中水解生成H2、H2SiO4、H2SiF6、
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H2Si2O4等。
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Si2F6+4H2O→6HF+H2Si2O4
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6HF+H2Si2O4→H2+H2SiF6+H4SiO4
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H4SiO4+6HF→4H2O+H2SiF6
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在室温，即使与氯混合也不反应，但是当加热时产生激烈反应而生成SiF4、SiClF2、SiCl2F2等。
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5.毒性·安全防护
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当六氟乙硅烷漏到大气中时与水分反应生成硅氟酸和氢氟酸。因此，可以认为它的毒性和硅氟酸、氢氟酸相同。
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最高容许浓度：2.5mg/m3
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探漏方法，一是靠其强烈的刺激臭，二是靠其在空气中水解生成的SiO2白烟。
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废气直接排大气是危险的，而且是防止大气污染所不允许的。所以，一般用水吸收处理。在用水吸收处理时，水解产生氢气，因此，对氢气需要采取一定的措施。
- 其它参见氟化氢。
