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三氟化磷PF3
  
 1.别名·英文名
    氟化亚磷;Phosphorus trifluoride、Phosphorus fluoride。
2.用途
    发生气体、氟化剂、外延、离子注入。
    3.制法
    (1)三氟化砷和三氯化磷作用。   
    (2)3F2(适量)+2P→2PF3
    4.理化性质
    分子量:87.969
    熔点(101.325kPa):    -151.3℃
    沸点(101.325kPa):    -101.2℃
    液体密度(171.95K,S.P.):    1574kg/m3
                      (0℃):    1130kg/m3
    气体密度(25℃,101.325kPa):    3.590kg/m℃
    相对密度(气体.空气=1,25℃,101.325kPa):3.03
    比容(21.1℃,101.325kPa):0.2747m3/kg
    临界温度:    -2.0℃
    临界压力:4326kPa
    临界密度:    592kg/m3
    气化热(171.95K):    165.94kJ/kg
    比热容(气体,25℃,101.325kPa):Cp=667.16J/(kg·K)
    蒸气压(122.15K):    1.333kPa
          (165.15K):    66.661kPa
          (184.45K):    199.983kPa
    导热系数(气体,25℃,101.325kPa):0.0164W/(m·K)
    粘度(气体,25℃,101.325kPa):0.01871mPa·s
    三氟化磷在常温常压下为无色无味有毒气体。液态为无色透明。空气中不太发烟,相当稳定。加热时与氢反应生成PH3。能被水缓慢分解成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外,不腐蚀玻璃。
  5.毒性·安全防护
  小鼠--吸入LCLo:1900mg/m3·10分钟
  最高容许浓度:1ppm
  三氟化磷是极毒物质。它水解生成的亚磷酸和氟化氢对皮肤、眼睛及呼吸道粘膜有刺激作用,其症状与五氟化磷及卤化磷大致相同(参见氟化氢和五氟化磷)。
    对干燥气体可用钢、镍、蒙乃尔等。
    废弃的三氟化磷,要均匀地散布在由苏打灰和消石灰以l:l的比例混合的混合物上面,然后进行混合伴匀,再小心地喷水雾,接着移入大量水中进行中和。
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