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三氟化磷PF3
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1.别名·英文名
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氟化亚磷;Phosphorus trifluoride、Phosphorus fluoride。
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2.用途
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发生气体、氟化剂、外延、离子注入。
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3.制法
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(1)三氟化砷和三氯化磷作用。
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(2)3F2(适量)+2P→2PF3
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4.理化性质
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分子量:87.969
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熔点(101.325kPa): -151.3℃
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沸点(101.325kPa): -101.2℃
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液体密度(171.95K,S.P.): 1574kg/m3
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(0℃): 1130kg/m3
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气体密度(25℃,101.325kPa): 3.590kg/m℃
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相对密度(气体.空气=1,25℃,101.325kPa):3.03
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比容(21.1℃,101.325kPa):0.2747m3/kg
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临界温度: -2.0℃
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临界压力:4326kPa
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临界密度: 592kg/m3
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气化热(171.95K): 165.94kJ/kg
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比热容(气体,25℃,101.325kPa):Cp=667.16J/(kg·K)
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蒸气压(122.15K): 1.333kPa
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(165.15K): 66.661kPa
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(184.45K): 199.983kPa
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导热系数(气体,25℃,101.325kPa):0.0164W/(m·K)
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粘度(气体,25℃,101.325kPa):0.01871mPa·s
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三氟化磷在常温常压下为无色无味有毒气体。液态为无色透明。空气中不太发烟,相当稳定。加热时与氢反应生成PH3。能被水缓慢分解成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外,不腐蚀玻璃。
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5.毒性·安全防护
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小鼠--吸入LCLo:1900mg/m3·10分钟
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最高容许浓度:1ppm
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三氟化磷是极毒物质。它水解生成的亚磷酸和氟化氢对皮肤、眼睛及呼吸道粘膜有刺激作用,其症状与五氟化磷及卤化磷大致相同(参见氟化氢和五氟化磷)。
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对干燥气体可用钢、镍、蒙乃尔等。
- 废弃的三氟化磷,要均匀地散布在由苏打灰和消石灰以l:l的比例混合的混合物上面,然后进行混合伴匀,再小心地喷水雾,接着移入大量水中进行中和。