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| 专利名: |
一种去除三氟化氮气体中四氟化碳杂质的方法 |
| 专利号: |
CN200710062156.2 |
| 关键字: |
工业气体分离 |
| 专利类别: |
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| 使用范围: |
本发明涉及一种去除三氟化氮气体中四氟化碳杂质的方法。本发明采用共沸精馏的方法分离提纯NF3气体，得到高纯NF3产品气体，将原料气体与共沸剂通入精馏塔，在其中不断进行气液接触，杂质形成与产品气沸点相差较大的共沸物，该共沸物从塔顶蒸出进入第二个精馏塔以回收共沸剂；而共沸剂与NF3的混合物则从塔釜采出进入第三个精馏塔；利用共沸剂与NF3沸点的差异在塔顶得到高纯NF3产品气体，而在塔底回收共沸剂。本工艺设置了两塔回收共沸剂，节约共沸剂用量，工业实际价值高。本方法突破了常规精馏的局限，将CF4杂质含量降低至20ppm，同时降低了冷凝剂的使用量，具有设备简单、成本低、效率高的优点。 |
| 申报人: |
彭立培,付 嫚,王少波,孟祥军,石兴涛,隋希平,李本东 |
| 申报单位: |
中国船舶重工集团公司第七一八研究所 |
| 申报时间: |
6/13/2007 |
| 专利有效期限: |
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专利内容
申请（专利）号:
CN200710062156.2
申请日期:
2007-6-13
公开(公告)日:
2007-11-14
公开(公告)号:
CN101070144
主分类号:
C01B21/083(2006.01)I,C,C01,C01B,C01B21
分类号:
C01B21/083(2006.01)I,C,C01,C01B,C01B21,C01B21/083
申请（专利权）人:
中国船舶重工集团公司第七一八研究所
发明（设计）人:
彭立培,付 嫚,王少波,孟祥军,石兴涛,隋希平,李本东
主申请人地址:
056002河北省邯郸市展览路17号
专利代理机构:
邯郸市久天专利事务所
代理人:
郭恒斌
国别省市代码:
河北;13
主权项:
1、一种去除三氟化氮气体中四氟化碳杂质的方法，其特征在于包括下列步骤：使含CF4杂质的原料气体由阀门进入I号精馏塔，共沸剂经阀门进入I号精馏塔，I号精馏塔塔釜温为-73℃～-120℃，顶温为-80℃～-120℃，若塔釜温度过高则共沸剂易从塔顶蒸出，来不及与CF4形成共沸物，若塔釜温度过低则塔内无法形成气液两相，塔釜压力为0.1MPa～1.6MPa，共沸剂与原料气体在塔内进行气液接触，共沸剂与CF4形成最低共沸物从I号精馏塔顶采出，分两部分：一部分气体从I号精馏塔顶的冷凝器经阀门回流，一部分气体经阀门进入II号精馏塔；II号精馏塔的压力为0.0MPa～1.5MPa，塔底温度为-75℃～-130℃，顶温为-85℃～-130℃，由II号精馏塔的塔顶得到少量CF4，II号精馏塔的塔底共沸剂则经阀门通过管路回收至I号精馏塔再利用；I号精馏塔的塔底部共沸剂与NF3的混合物经管路进入III号精馏塔，III号精馏塔的塔压力为0.0MPa～1.4MPa，塔底温度为-78℃～-130℃，顶温为-88℃～-130℃，塔顶得到CF4杂质含量20ppm以下的产品气体，塔底的共沸剂由阀门经管路回收至I号精馏塔再利用。
法律状态:
授权
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