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| 专利名: |
真空泵吸系统 |
| 专利号: |
CN200480027568.7 |
| 关键字: |
气体分离 |
| 专利类别: |
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| 使用范围: |
一种真空泵吸系统，包括：一种用于将第一气体如氙供应到一真空室的第一气源；一个接收从该室输出的气体的泵；一种用于供应与第一气体一起泵吸的冲洗气体如氮或氦的第二气源；一个接收由该泵排出的泵吸的气体并从该气流回收该第一气体和冲洗气体的气体分离器。该回收的第一气体通过该真空室而再循环，该回收的第二气体至少通过该泵而再循环。 |
| 申报人: |
D·门尼,R·C·李,R·B·格兰特,B·D·布雷斯特,J·R·格林伍德 |
| 申报单位: |
英国氧气集团有限公司 |
| 申报时间: |
9/16/2004 |
| 专利有效期限: |
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专利内容
申请（专利）号:
CN200480027568.7
申请日期:
2004-9-16
公开(公告)日:
2006-11-1
公开(公告)号:
CN1856652
主分类号:
F04D19/04(2006.01)I,F,F04,F04D,F04D19
分类号:
F04D19/04(2006.01)I,F04D17/16(2006.01)I,F,F04,F04D,F04D19,F04D17,F04D19/04,F04D17/16
申请（专利权）人:
英国氧气集团有限公司
发明（设计）人:
D·门尼,R·C·李,R·B·格兰特,B·D·布雷斯特,J·R·格林伍德
主申请人地址:
英国英格兰
专利代理机构:
中国专利代理(香港)有限公司
代理人:
周备麟
国别省市代码:
英国;GB
主权项:
权利要求书1.一种真空泵吸系统，包括：一个有一用于从一真空室接收至少一种有待泵吸的第一气体的入口的泵；用于供应一种与该第一气体一起待泵吸的第二冲洗气体的机构；该泵有一用于排出包括该第一气体和该冲洗气体的气流的出口；以及用于接收该气流和从该气流回收该冲洗气体的气体分离机构，该供应机构被设置成从该气体分离机构接收该回收的冲洗气体。
法律状态:
专利申请权、专利权的转移
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