真空获得设备质量参差不齐

　　中国的真空获得产品品种比例与国外发达国家相比有较大差别，目前仍以传统的获得产品如旋片泵(有油泵)、滑阀泵、扩散泵、罗茨泵、水环泵、往复泵为主导地位，这些产品占到所有获得产品的90％以上。近几年，这些产品的技术水平有一定程度的提高，质量状况得到改善，这除了因激烈的市场竞争的促进有关外，也与我国政府鼓励企业积极采用国际标准和国外先进标准，督促企业按标准组织生产有很大关系。下面就我国几种主要获得产品的技术质量状况做一具体分析。

　　旋片泵(有油泵)：该泵多年来一直是中国市场上产量最大，使用最广泛的获得产品。年产量约8万～9万台。我国旋片泵的生产从设计到加工制造以及其性能质量都已趋向成熟。主要企业生产的产品质量比较稳定，外观质量有了明显提高。过去长期存在的喷油、漏油问题近几年得到一定的控制，旋片材料性能得到改善。大多数的生产企业都在按照 国际标准和行业标准生产。国产旋片泵的技术水平和质量、产量基本满足国内需求，并有少量出口。

　　滑阀真空泵：我国滑阀泵产品经过多年市场的磨练，其主要技术性能如极限压力、抽速、抽气效率等指标得到极大改善，泵的噪声、震动等指标也有改进。一些企业还注意到滑阀泵的外观质量与国外产品的差距，从产品的外观设计和泵体的铸件质量都进行了改进。滑阀泵的生产企业全国有十几家，年产约3000台，基本满足了国内市场的需求。

　　罗茨真空泵：近几年我国罗茨真空泵的生产在工艺装备上有了一定进步，主要生产企业用加工中心、专用设备加工主要零部件，并采取提高齿轮精度、采用进口轴承等办法，以提高罗茨泵的综合性能。

　　油扩散真空泵：油扩散真空泵目前仍是我国在高真空范围内应用最普遍的真空泵，其致命缺点是油污染。为了减少油污染，生产企业采取了多种措施，如加水冷挡板、挡油帽等，但难以彻底根除，使油扩散泵的使用受到限制。作为替代产品，内加热温控式扩散泵的研制得到了相当的重视。

　　除了以上提到的传统真空获得产品外，我国的干式泵生产还刚刚起步，分子泵的产量还很低，低温泵还没有走出实验室，在真空获得产品中这些都是我们的发展方向，有待于我们积极寻求国际合作，以期进一步发展。