《电子工业用气体氩》标准及其编制说明

一、前言

本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员气体分会归口。

本标准起草单位：北京氦普北分气体工业公司、西南化工研究设计院。

随着微电子工业的迅速发展，广大用户对电子工业用氩气的质量提出了更高更苛刻的要求。因此，重新修订电子工业用氩气的国家标准是我们必须要进行的一项具有深远意义的重要工作。

二、标准修订的主要内容

1．技术要求。

原标准技术指标采用的是SEMI C3.46-93《99.9992%的散装液氩标准》，此标准技术指标现在依然有效，因此这次修订保留了此项技术指标。另外，由于电子用气体的特殊性，用在不同的领域中，对指标的要求不同，特别是对水等杂质要求比较高，但是对别的杂质含量要求并不高，因此这次修订增加了一类技术指标（99.9997%），此项指标参照了北京氦普北分气体工业公司的VLSI级技术指标。

修订后电子工业用氩国家标准的技术指标更增加了实用性，更便于使用者在使用标准时根据自己的使用领域选择相应的技术指标。

2．试验方法

（1）抽样、判定和复验

此次修订参照修订后的国家标准《氩》修改了原标准的抽样表，并修改了判定和复验的规定。

（2）氢和氮含量的测定

此次修订参照了修订后的国家标准《氩》。

3. 包装、标志、运输、贮存以及安全要求

这部分内容是在原标准第5章基础上，参照现行的相关规定修改而成。