| 产品名称Products |
化学符号Formulas |
纯度范围(%)Specifications |
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氨气 |
NH3 |
99.999-99.9999 |
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砷烷 |
AsH3 |
99.999-99.9999 |
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磷烷 |
PH3 |
99.999-99.9999 |
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氖气、氙气 |
Ne、Xe |
99.999 |
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三氯化硼 |
BCL3 |
99.999 |
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三氟化硼 |
BF3 |
99.995 |
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二氯二氢硅 |
Si2H2CL2 |
99.99 |
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乙硅烷 |
Si2H6 |
99.998 |
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四氟化碳 |
CF4 |
99.999 |
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氢气、氦气 |
H2、 He |
99.9999 |
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氧气 |
O2 |
99.9998 |
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氮气、氩气 |
N2 、Ar |
99.9999 |
|
氧化亚氮（笑气） |
N2O |
99.999 |
|
硅烷 |
SiH4 |
99.999-99.9999 |
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六氟化硫 |
SF6 |
99.999 |
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三氯氢硅 |
SiHCL3 |
99.99 |
|
六氟化钨 |
WF6 |
99.999 |
|
三氟甲烷 |
CHF3 |
99.995 |
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氯气 |
CL2 |
99.999 |
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乙烯 |
C2H4 |
99.995 |
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溴化氢 |
HBr |
99.999 |
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硒化氢 |
H2Se |
99.999 |
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锗烷 |
GeH4 |
99.999 |
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硼烷 |
B2H6 |
99.999 |
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准分子激光气体 |
以F2为基础的配气 |
不同比例 |
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其它特殊气体 |
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