氩气纯化循环设备

一、原理说明：

氩气是大规模工业生产单晶硅,手套箱的保护气，它的要求之高，是控制经营成本必须重视的一个重要方面。

将排出含有杂质的氩气，除去固体杂质，经缓冲罐进入氩气压缩机升压,，经氩气纯化设备。采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂，在一定温度下，吸气剂可于氩气中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体，从而达到对氩气精制的目的。最后将净化后的氩气送入使用地点.

二、设备构成：

1 过滤器

   2  压缩机

3  氩气纯化

6  电气控制箱

三、技术保障措施；

      1 组合式过滤工艺，分级处理。

      2氩气纯化采用特殊结构和装料方法，流速设计合理，气流分布均匀。

      3氩气纯化采用特殊设计的加热构造，加热均匀、稳定。

      4 采用优质管件，阀门，避免管道和阀门影响气体质量。

      5 采用优质的电器元件和控制仪表，保证温度稳定，减少温度和影响。

      6氩气纯化的活化程序，严格按照活化程序执行，根据现场实际情况适当调整。

      7 对用户的操作员进行设备操作培训，了解设备工作原理，掌握设备操作方法，熟悉设备的开车、停车、停电、停水处理方法。