气体名称 |
化学式 |
规格 (%) |
杂质 (ppm) |
二氧化硫 |
SO 2 |
99.9% |
氧 + 氮 <100, 水 <10, 其他 <200 |
一氧化氮 |
NO |
99.5% |
氧化亚氮 <4000 、二氧化氮 <2000 、氮气 <300 、二氧化碳 <500 |
二氧化氮 |
NO 2 |
99.9% |
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氧化亚氮 |
N 2 O |
99.99% |
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氖 |
Ne |
99.995% |
H 2 ≤2 N 2 ≤5 He≤40 THC≤1 O 2 +Ar≤2 H 2 O≤2 |
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99.999% |
O 2 ≤1 N 2 ≤5 H 2 O≤2 He≤10 |
氪 |
Kr |
99.99% |
N 2 ≤20 H 2 ≤2 O 2 +Ar≤5 Xe≤50 H 2 O≤3 THC≤3 |
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99.998% |
N 2 ≤3 H 2 ≤0.5 O 2 +Ar≤2 Xe≤4 H 2 O≤2.6 THC≤1 |
氙 |
Xe |
99.99% |
N 2 ≤20 Ar≤10 N 2 O≤1 O 2 ≤2 H 2 ≤2 Kr≤50 H 2 O≤3 HC≤3 |
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99.998% |
N 2 ≤3 THC≤1 N 2 O≤0.5 O 2 +Ar≤2 H 2 O≤2.6 H 2 ≤0.5 Kr≤4 |
硫化氢 |
H 2 S |
99.9% |
氢气 <200ppm 、氧气 + 氮气 <100ppm 、水 <3ppm |
液氯
Cl 2 |
99.9% |
二氧化碳 <400 、一氧化碳 <10 、氢气 <200 、氮气 <100 、氧气 <20 、水 <100 |
99.999% |
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氨 |
NH 3 |
99% |
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99.999% |
氧气 <1.0ppm, 氮气 <2.0ppm ,一氧化碳 <1.0ppm 水含量 <2.0ppm,THC(C1~C3) <1.0ppm |
六氟化硫 |
SF 6 |
99.99% |
O 2 ≤10 H 2 0≤5 N 4 ≤40 HF≤0.1 CF 4 ≤25 |
合成空气 |
Air |
O 2 :19.5 ~ 22.5% |
H 2 O≤5 CO/CO 2 ≤0.5 THC≤5 |
零空气 |
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O 2 : 19.5 ~ 22.5% |
H 2 O≤5 CO/CO 2 ≤0.5 THC≤0.1 |