工艺流程采用全低压分子筛净化，增压透平膨胀机制冷，规整填料上塔。

原料空气经过滤器除去其中的机械杂质及尘埃，由空压机压缩至的需压力进入空气预冷，然后经分子筛净化系统除去空气中的水分、二氧化碳、乙炔及其它碳氧化合物等有害杂质。

净化后的加工空气分成二股，一股经过膨胀机增压端增压，冷却后进入主换热器，再从换热器中部抽出，经膨胀后进入上塔；另一股空气进入主换热器，被返流气体冷却至饱和温度后，进入下塔。空气在下塔精馏，获得的液空、液氮经过冷却后送入上塔参与精馏。在上塔中精馏获得的产品氧气、氮气与污氮气经主换热器复热后送出冷箱。氧气经氧压机压缩后送管网；纯氮气经氮压机压缩后去管网；一总值发污氮经电加热后加温后去分子筛纯化系统作为再生气源，另一部分污氮与富裕的纯氮气汇合后去预冷系统水冷塔。液体产品出冷箱后分别进入液体贮存系统。

从上塔抽取的氩馏分，进入粗氩塔精馏，从粗馏塔得到的粗氩，再送入精氩塔参加精馏，除去氮成分，在塔底获得高纯液氩，出冷箱进入液氩贮槽。

工艺流程简述如下：

1原料空气在空气过滤器中除去灰尘和机械杂质，先进入空气透平压缩机压缩，然后进入空气冷却塔进行清洗和预冷。空气从空气冷却塔的下部进入，从顶部出来。空气冷却塔的给水分为两段，冷却塔的下段使用经用户水处理系统冷却过的循环水，冷却塔的上段使用经水冷却塔冷却后的低温水，以降低冷却塔出口空气温度。空气冷却塔顶部设有丝网除雾器，以除去空气中的水滴。

2出空气冷却塔的空气进入交替使用的分子筛吸附器MS，除去原料空气中的水份，CO₂、C₂H₂等不纯物质。

3净化后的空气分三股：

一小部分被抽出作为仪表空气；

一股空气引入增压风机中增压，然后被冷却水冷却至常温进入主换热器。再从主换热器中部抽出进入膨胀机，膨胀后进入空气过冷器，送入上塔精馏；

另一大股空气直接进入主换热器，被返流气体冷却至饱和温度，进入下塔。空气经下塔初步精馏后，在下塔底部获得液态空气，在下塔顶部获得纯液氮。下塔抽取的液态空气、纯液氮，进入液空液氮过冷器，过冷后送入上塔相应部位。经上塔进一步精馏后，在上塔底部获得氧气，经膨胀空气过冷器进入主换热器复热后出冷箱，经氧气透平压缩机加压后进入氧气管网。另抽取一部分液氧直接进入液氧贮槽或经喷射蒸发器汽化后送入氧气管网。

4从上塔中部抽取一定量的氩馏份送入粗氩塔粗馏得到98.5%的粗氩气(2ppmO₂)，然后经液化器。液化后送入精氩塔中部，经精氩塔精馏在塔底得到精液氩(99.999%Ar)。

5从辅塔顶部得到氮气，经过冷却器、主换热器复热后出冷箱作为产品输出。从上塔顶部引出污氮气，经过冷器、主换热器复热后出冷箱，一部分进入蒸汽加热器作为分子筛再生气体，其余气体送水冷塔。