|
四、标准漏孔（接上期）
标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。一般要明确这个气流量（即漏率）的气体种类、温度、压力等条件。如果不特别指明，则指温度为296±3K、入口压力为1.01×105Pa、出口压力低于1.33×103Pa的干燥空气（其露点温度低于248K）的漏率。
1.常用的标准漏孔
几种常用标准漏孔的结构如图10所示。
玻璃毛细管型标准漏孔（图中a）是用局部拉细的玻璃毛细管制成的，漏率为10-8~10-7Pam3/s。
金属压扁型标准漏孔（图中b）通常是用无氧铜或可伐管压制而成，漏率为10-8~10-6Pam3/s。
玻璃铂丝型标准漏孔（图中c）是利用玻璃与铂丝的不匹配封接制成的。当铂丝直径为0.1~0.5mm；封接长度为5~10mm时，漏率约为10-7Pam3/s。当温度改变时，其漏率变化。若296K的漏率为qL、296，则温度T时的漏率为式（8）。式中f（T）的曲线如图11所示。
薄膜渗氦型标准漏孔（图中d）是利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的，其漏率一般为10-5~10-9Pam3/s。由于温度对漏率的影响很大，使用时应当注意修正。如果温度T1时漏孔漏率为qL、T1，使用温度T2时的漏率应为式（9）。式中，E-氦在石英中的渗透激活能；R-摩尔气体常数。
2.标准漏孔的校准
标准漏孔的常用校准方法有定容升压法和氦质谱检漏仪比较法。
（1）定容升压法
定容升压法校准系统示意图如图12所示。经预抽并烘烤容积V后，标准漏孔进气端压力p1＜1.33×103Pa，而V达到极限真空。当压力为1.01×105Pa的校准气体（例如N2气）经标准漏孔流进容积V，并在V中压力p2稳定后，关闭阀门S2记录时间和环境温度T，测出对应Δt时间的升压Δp2则标准漏孔的漏率为式（10）。
（2）氦质谱检漏仪的比较法
氦质谱检漏仪比较法校准系统如图13所示。在检漏仪工作条件不变的前提下，先后测出已知漏孔L1和待校漏孔L2的进气氦压和讯号，则待校标准漏孔的漏率为式（11）。式中，qL，01-已知标准漏孔L1的漏率；p1，p2-分别为L1、L2漏孔进气端氦压；I1，I2-分别为L1，L2漏孔的输出讯号；I0-检漏仪本底。
国产检漏仪器的主要参数见表12和表13。
表12 国产氦质谱检漏仪主要参数
|
厂家 |
型号 |
灵敏度[Pam3/s] |
工作真空度[Pa] |
偏转半径[mm] |
偏转角 |
扩散泵的冷动方式 |
液氮耗量[L/s] |
功耗[W] |
重量[kg] |
外形尺寸[mm×mm×mm] |
备注 |
| 成都仪器厂 |
HZJ-1 |
6.7×10-10 |
3×10-2 |
40 |
180o |
风冷 |
不要 |
1000 |
200 |
620×660×1230 |
|
| ZLS-21 |
10-13 |
1×10-3 |
40 |
90o |
风冷 |
0.25 |
1500 |
110 |
938×600×650 |
|
| ZLS-22 |
6.7×10-13 |
3×10-3 |
40 |
90o |
风冷 |
0.20 |
|
110 |
600×660×1230 |
|
| ZLS-23 |
10-13 |
1×10-2 |
12 |
180o |
风冷 |
1 |
1000 |
80 |
950×600×570 |
10-11Pam3/s不用液氮 |
| ZLS-24 |
10-11,10-12 |
10-2 |
12 |
180o |
风冷 |
|
|
|
|
|
| ZLS-24A |
10-13 |
1×10-2 |
12 |
180o |
风冷 |
1 |
|
120 |
650×600×1090 |
测试压力自动转换 |
| ZLS-24C |
2×10-11,10-12 |
|
|
|
|
|
2000 |
150 |
870×725×1090 |
两套辅助抽气系统 |
| ZLS-25A |
2×10-9 |
|
|
|
|
|
|
|
|
吸枪法仪器 |
| ZLS-26 |
2×10-12 |
|
|
180o |
分子泵 |
|
|
|
|
可顺流、逆流检漏 |
| 科学院北京仪器厂 |
TL-1 |
1×10-9 |
3×10-2 |
40 |
180o |
风冷 |
不要 |
1200 |
250 |
620×660×1229 |
|
| ZHP-4A |
6.7×10-14 |
1×10-3 |
60 |
2×90o |
水冷 |
|
|
|
|
扩散泵串联，差动抽气 |
| ZHP-10 |
顺流2.7×10-12
逆流10-1５ |
7×10-3 |
20 |
90o |
风冷 |
0.04 |
1500 |
|
600×530×920 |
可顺流、逆流检漏 |
| ZHP-10B |
１×10-10 |
7×10-2 |
20 |
90o |
风冷 |
不要 |
1500 |
|
570×410×860 |
逆流检漏仪 |
| ZHP-20 |
3×10-12 |
|
20 |
90o |
风冷 |
|
|
|
570×600×1030 |
可顺流、逆流检漏 |
| ZHP-30 |
5×10-11 |
|
20 |
|
分子泵 |
|
|
50 |
600×540×920 |
逆流检漏仪 |
| ZHP-30B |
8×10-13 |
|
20 |
|
分子泵 |
|
|
|
|
逆流检漏仪 |
| ZHP-40 |
3×10-12 |
|
20 |
90o |
分子泵 |
|
|
10 |
350×250×200(电控箱) |
可顺流、逆流检漏 |
| ZHP-50 |
5×10-11 |
3×10-2 |
|
|
|
|
|
28 |
260×360×460(主体) |
质谱管接于被检件 |
| ZHP-60 |
5×10-11 |
|
|
|
分子泵 |
|
|
10 |
350×250×200(电控箱) |
便携式仪器 |
| 沈阳市真空机械三厂 |
ZH-1 |
5×10-11,5×10-12 |
5×10-1 |
|
180o |
风冷 |
0.75 |
500 |
50 |
560×360×560 |
5×10-11Pam3/s不用液氮 |
| 8400厂 |
JLH-1 |
6.7×10-10 |
3×10-2 |
40 |
180o |
风冷 |
不要 |
1000 |
250 |
620×660×1300 |
|
| JLH-2 |
6.7×10-11 |
3×10-3 |
40 |
180o |
风冷 |
|
1500 |
250 |
600×780×1250 |
|
| JLH-3 |
6.7×10-13 |
1×10-3 |
40 |
180o |
风冷 |
|
|
100 |
|
|
| 天津华北电器厂 |
ZHP-4 |
6.7×10-14 |
1×10-3 |
60 |
2×90o |
水冷 |
|
1200 |
500 |
710×570×1300 |
|
| 沈阳教学仪器厂 |
6104 |
6.7×10-11 |
3×10-2 |
40 |
180o |
水冷 |
不要 |
1200 |
350 |
650×540×1130 |
|
表13 国产卤素检漏仪的主要参数
|
厂家 |
型号 |
灵敏度[Pam3/s] |
检测范围[Pam3/s] |
反应时间[s] |
耗电功率[W] |
重量[kg] |
外形尺寸[mm×mm×mm] |
备注 |
| 北京真空仪表厂 |
LX-2A |
3.25×10-7 |
|
＜3 |
21 |
3.5 |
传感器260×170×50
检控箱200×150×50 |
F12
|
| LX-3 |
6.5×10-8 |
6.5×10-8~3.9×10-5 |
＜1 |
55 |
7 |
324×300×144 |
| LX-4 |
5×10-8 |
5×10-8~1.5×10-5 |
|
|
|
|
| 成都仪器厂 |
LLS-1 |
＜10-7 |
10-7~10-5 |
＜3 |
|
4.5 |
230×100×250 |
R12 |
| LFL-301 |
|
10-8~10-2* |
＜1 |
50 |
|
|
SF6 |
| 上海通用机械技术研究所 |
LJ-D |
3.2×10-9 |
|
＜3 |
45 |
4 |
300×260×140 |
F元素
台式 |
| 成都滨江仪器厂 |
LD-22 |
10-11 |
10-11~10-9 |
|
120 |
5 |
280×280×139 |
内探头 | * 为体积比 |
收藏此帖
