真空名词

真空常用名词术语(1)

1、真空的定义
真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态

2、真空度
处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。

3、真空度单位
通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱

4、托与帕的转换
1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托

5、平均自由程
作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。

6、流量
单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

7、流导
表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。
　　U＝Q/(P2- P1)

8、压力或压强
气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。

9、标准大气压
压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。

10、极限真空
真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。

11、抽气速率
在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

12、热偶真空计
利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。

13、电离真空计（又收热阴极电离计）
由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。

14、复合真空计
由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。

15、冷阴极电离计
阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。

16、电阻真空计
利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。

17、麦克劳真空计（压缩式真空计）
将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。

18、B－A规
这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。

19、水环真空泵
泵的叶轮转子旋转而产生水环。由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。

20、往复真空泵
利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。

21、油封机械真空泵
用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。

22、罗茨真空泵
具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。

23、涡轮分子真空泵
有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。

24、油扩散真空泵
扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。

25、低温真空泵
利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。

26、冷阱（水冷挡板）
置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。

27、气镇阀
油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。

28、真空冷冻干燥
真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。

29、真空蒸镀
在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。

30、真空干燥
利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。

31、真空系统常用名称
(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

真空常用名词术语(2)

1.真空系统vacuum system
   由真空容器和产生真空、测量真空、控制真空等的组件组成。
1.1 真空机组pump system：由产生真空、测量真空和控制真空等的组件组成。
1.2 有油真空机组pump system used oil ：用油作工作液或用有机材料密封的真空机组。
1.3 无油真空机组oil free pump system：不用油作工作液和不用有机材料密封的真空机组。
1.4 连续处理真空设备continuous treatment vacuum plant：能将处理研究的材料或工件连续地送入到真空容器中，并且又能从真空室输出而不必中断设备连续工序的一种真空设备。
  1.5 闸门式真空系统vacuum system with an air-lock：在不破坏真空情况下，能将工件或材料通过一个或若干个真空闸室导入或导出的一种真空系统。
1.6 压差真空系统differentially pumped vacuum system：通过气体节流，使互相连接的各个室分别用单独真空泵抽气以达到维持压差（压降或压力梯段）目的的一种真空系统。
1.7 进气系统gas admittance system：在规定的和控制的条件下，能将气体或气体混合物放入到真空系统的一种装置。
2.真空系统特性参量
  2.1 抽气装置的抽速volume flow rate of a pumping unit ：在抽气装置进气口测得的抽速。
2.2 抽气装置的抽气量throughput of a pumping unit ：流经抽气装置进气口的气体流量。
2.3 真空系统的放气速率degassing(outgassing) throughput of a vacuum system：由真空系统所有表面解吸气体所产生的气体流量。注：在真空系统内部经常出现一种漏气假象。这种情况叫做“虚漏”。
2.4 真空系统的漏气速率leak throughput of a vacuum system：由于漏气渗入到真空系统中并影响真空容器中压力的气体流量。
2.5 真空容器的升压速率rate of pressure rise of a vacuum chamber：在温度保持不变时，抽气系统关闭后，在给定时间间隔内容器的压力升高量除以该时间隔之商。该商有可能不是恒定的。
2.6 极限压力ultimate pressure：泵在工作时，空载干燥的真空容器逐渐接近稳定的最低压力。
2.7 残余压力residual pressure：经过一定时间的抽气之后或真空过程结束之后还存在于真空容器中的气体或气体混合物（残余气体）的全压。在某些情况下残余压力等于极限压力。注：在真空技术中，“气体”一词按广义的理解，即可适用于非冷凝性气体也可应用于蒸汽。
2.8 残余气体谱residual gas spectrum：真空容器中残余气体的质谱。
2.9 基础压力base pressure：在真空容器中可以开始实施工艺时的压力。注：在某些真空工艺中，例如表面的分析，基础压力也称作为“本底压力”。
2.10 工作压力working pressure：在真空容器中为实施工艺所必需的压力（可能还有压力范围）。
2.11 粗抽时间roughing time：前级真空泵或前级真空抽气装置从大气压抽至基础压力或抽至在较低压力下工作的真空泵的起动压力所需要的时间。
2.12 抽气时间pump-down time：将真空系统的压力从大气压降低到一定压力，例如降到基础压力所需要的时间。
2.13 真空系统时间常数time constant of a vacuum system：将真空容器中的压力降低到初始压力的1/e所需要的时间。在抽速恒定时，该时间常数为容器体积除以抽气系统的抽速得出之商。
2.14 真空系统进气时间venting time：经过规定的装置放入的空气使真空系统（或真空容器）内的压力由工作压力升高到较高的压力（一般到大气压）所需要的时间。如果放入的是空气，那么该时间称作为“通大气时间”。
3.真空容器
3.1 真空容器；真空室vacuum chamber：根据力学计算能允许容器的压力低于环境压力的真空密封容器。
3.2 封离真空装置sealed vacuum device：容器被抽空之后将其封离或者以别的方法用永久性的封接将其封离的一种真空容器。例如电子管，X-射线管。
3.3 真空钟罩vacuum bell jar：借助于一个可拆卸的连接件，将其放置到另一个组件（一般说来是一块底板）上并同这个组件共同组成一个真空室的钟罩形组件。
3.4真空容器底板vacuum base plate：真空容器底板通常位于真空设备抽气系统进气口上并包含有实施过程所必要的真空引入线。
3.5真空岐管vacuum manifold：可以和两个或若干个真空容器相连可以同时进行抽气的一种真空密封分配件。
3.6前级真空容器（贮气罐）backing reservoir：设置在前级真空泵和其前级真空阀之间的容器。在前级真空泵断开时，它用来容纳被抽气体和（或）平衡压力的变化。
3.7真空保护层outer chamber：将一个真空容器全部或部分包围的一种真空密封容器。它用来减少漏气率和（或）降低作用于器壁的压力。真空保护层中所存在的真空称作为“保护真空”。
3.8真空闸室vacuum air lock：连接在两个不同压力空间之间的真空室。它具有能与这个或那个相接的空间相适应压力的连接装置和能将物件从这个空间输送到那个空间而在这些空间中压力不发生干扰性变化的开孔（全部或部分可以关闭）。一般来说这些装置和开孔用于将物件从大气送入到真空容器中或从真空容器中取出到大气中。
3.9真空冷凝器；蒸汽冷凝器device for condensing vapor：内部带有冷却面、设置于真空室和抽气系统之间用于冷凝大量蒸汽的一种真空容器。通常它有一个可闭锁的冷凝液收集罐能在不中断真空过程情况下排出液体冷凝物。 3.4真空封接和真空引入线
4.1永久性真空封接permanent seal ：不能以简单的方式加以制造或拆卸的一种真空连接。例如：钎焊的真空连接，焊接的真空连接；玻璃-玻璃封接；玻璃-金属封接。
4.2玻璃分级过渡封接graded seal ：由具有不同热膨胀系数的各种玻璃组成的一种永久性真空封接。因此避免了在各连接元件内不希望有的大应力（所谓麦杆式封接）。
4.3压缩玻璃金属封接compression glass-to-metal seal：将玻璃同金属或合金熔接在一起，并使玻璃始终处于压缩应变之下的一种永久性真空连接。
4.4匹配式玻璃金属封接matched glass-to-metal seal：通过将玻璃熔接到金属或合金上所制得的密封，使金属或合金在很大的温度范围内其热膨胀系数几乎与玻璃相同的一种永久性真空连接。
4.5陶瓷金属封接ceramic-to-metal seal：将陶瓷零件的金属化表面与一个金属零件钎焊在一起的一种永久性真空连接。
4.6半永久性真空封接semi-permanent seal ：用蜡、胶、漆或类似物质接合的一种真空连接。
4.7可拆卸的真空封接demountable joint：用简单的方式，一般说来用机械的方法可以拆卸又可以重新组装起来的一种真空连接。
4.8液体真空封接liquid seal ：借助于低蒸汽压液体进行密封的一种可拆卸式真空连接。
4.9熔融金属真空封接molten metal seal：用低熔点金属进行密封的一种可拆卸式真空连接。加热金属使密封进行拆卸或组合。
4.10研磨面搭接封接ground and lapped seal：由两个经研磨的表面构成的一种可拆卸式真空连接。研磨面可以是平面形状、球形或锥状，通常它们都涂以油脂。
4.11真空法兰连接vacuum flange connection：在两个法兰之间用一个适宜的可变形的密封件造成一个真空密封连接的一种可拆卸式真空连接。
4.12真空密封垫vacuum-tight gasket：放置于两个零件之间的一个可拆卸的真空连接件，用其进行密封的一种可变形的构件。在某些场合借助于支承架（例如垫圈密封），材料的选择要视所要求的真空范围而定，通常用弹性体或金属。
4.13真空密封圈ring gasket：一种环形真空密封件。注：有各种不同截面形状的真空密封圈，例如：“O”形密封圈，“V”形密封圈，“ L”形密封圈和其它型材的密封件（金属型材密封件）。
4.14真空平密封垫flat gasket：用扁平材料制得的一种真空密封件。
4.15真空引入线feedthrough leadthrough：通过真空容器器壁使运动气体或液体、电流或电压传递或引入的一种装置。这种装置通常支承在真空容器对大气密封的法兰上。在真空中能用来做多种运动，一般说来作平动和旋转运动的传递运动的真空引入线称作为“多关节操作机。”
4.16真空轴密封shaft seal：用来密封轴的一种真空密封件，它能将旋转和（或）移动运动相对地传递到真空容器器壁内。
4.17真空窗vacuum window：装在真空容器器壁上能使电磁辐射或微粒辐射穿透的一种装置（例如列纳尔特窗）。
4.18观察窗viewing window：作为观察装置运转情况的一种真空窗。注：在某些应用场合必须对观察窗的光学性能提出一定的要求。
5.真空阀门
   5.1真空阀门的特性characteristic of vacuum valves：主要是指真空阀门外壳的对大气的真空密封性，真空阀门的流导和真空阀门的阀座漏气率。
     (1)真空阀门的流导conductance of vacuum valves：在阀门打开状态下的气体流动的流导。注：在样本中，真空阀门的流导常常以“当量管长度”列出，这里设管的名义口径与阀的名义口径相同。
     (2)真空阀门的阀座漏气率leak rate of the vacuum seat：在关闭状态下由阀座漏入的气体流率。它取决于气体种类、压力、温度和阀门出、进气口的压差。
   5.2真空调节阀regulating valve：能调节由真空阀隔开的真空系统部件之间的流率的一种真空阀。
   5.3微调阀 micro-adjustable valve：用来微量调节进入真空系统中的气体量的真空阀。
   5.4充气阀charge valve：把气体充入真空系统的阀。
   5.5进气阀gas admittance valve：将气体放入到真空系统中的一种真空控制阀。
   5.6真空截止阀break valve：用来使真空系统的两个部分相隔离的一种真空阀。通常它不能当作控制阀使用。
   5.7前级真空阀backing valve：在前级真空管路中用来使前级真空泵和与其相连的真空泵隔离的一种真空截止阀。
   5.8旁通阀 by-pass valve：在旁通管路中的一种真空截止阀。
   5.9主真空阀main vacuum valve：用来使真空容器同主真空泵隔离的一种真空截止阀。
   5.10低真空阀low vacuum valve：在低真空管路中，用来使真空容器同其粗抽真空泵隔离的一种真空截止阀。
   5.11高真空阀high vacuum valve：符合高真空技术要求的主要在该真空区域内使用的一种真空阀。
   5.12超高真空阀；UHV阀 ultra-high vacuum valve：符合超高真空技术要求的主要在该真空区域内使用的一种真空阀。超高真空阀的阀座和密封垫通常由金属制成，可以进行烘烤。
   5.13手动阀manually operated valve：用手开闭的阀。
   5.14气动阀pneumatically operated valve：用压缩气体为动力开闭的阀。
   5.15电磁阀electromagnetically operated valve：用电磁力为动力开闭的阀。
   5.16电动阀valve with electrically motorized operation：用电机开闭的阀。
   5.17挡板阀baffle valve：阀板沿阀座轴向移动开闭的阀。
   5.18翻板阀flap valve：阀板翻转一个角度开闭的阀。
   5.19插板阀gate valve：阀板沿阀座径向移动开闭的阀。
   5.20蝶阀butterfly valve：阀板绕固定轴在阀口中转动开闭的阀。
6.真空管路
   6.1粗抽管路roughing line：连接被抽容器与用于粗抽的真空泵的一种真空管路系统。
   6.2前级真空管路backing line：连接前级真空泵的一种真空管路系统。
   6.3旁通管路；By-Pass管路 by-pass line：与真空系统管路并联装配的一种真空管路系统。它可同时和系统管路一起工作或者可以单独工作。
   6.4抽气封口接头pumping stem：用于容器的抽气，在抽气结束后通常进行真空密封连接，一般来说不能拆卸的一种连接管。
   6.5真空限流件limiting conductance：在真空管路上，用来限制气体流经管路的一个特殊件，通常它是指隔板或毛细管。
   6.6过滤器filter：真空管路中清除固体微粒并防止其落入真空泵中的装置.