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帖子主题：真空系统选择
楼主：游客7630 [2006/11/8 10:48:31]

真空范围

真空度

工艺

真空系统

低真空

105～102Pa

*真空输运
*洁净室
*打印机自动进纸
*真空浓缩罐*真空浓缩（干燥）
*真空包装

 

*干式旋片泵系统
*油封旋片泵系统
*水封泵系统
*柱塞泵系统
*干式真空泵系统

中真空

102～10-1Pa

*真空充气装置
*真空干燥
*真空除气
*真空蒸馏
*真空热处理*真空炉
*真空冷冻干燥

*多级旋片泵系统
*罗茨泵系统
*柱塞泵系统
*扩散泵系统
*干式真空泵系统
*吸附泵系统

高真空

10-1～10-5Pa

*真空镀膜
*真空冷冻干燥*真空蒸馏
*真空气体置换*真空密封
*真空焊接
*离子注入

*扩散泵系统
*涡轮分子泵系统
*吸附泵系统
*低温泵系统
*离子泵系统

超高真空

<10-5Pa


*电子显微镜*等离子体发生器
*表面研究
*材料分析
*原子核研究
*离子加速器
*物理学研究

*涡轮分子泵系统
*低温泵系统
*吸附泵
*涡轮分子泵系统
*低温泵系统
*离子泵系统



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