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帖子主题:高纯磷烷的规模化生产 |
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【关键词】磷烷,合成,吸附,低温精馏,超纯净化
【摘要】对磷烷的合成、净化等方法进行了详细的介绍,指出随着Ic制造业的发展,传统的磷烷净化工艺已成为历史,新的净化方法在原理上同以往的工艺有着本质的区别。吸附—低温精馏一超纯终端净化联合工艺是当今磷烷生产的发展方向,指出了我国未来几年电子气体净化需要克服的技术“瓶颈”。
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