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帖子主题:真空设备中的冷漏现象及其清除方法 |
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作者:姜万顺; 达道安; 杨益民; 张孝义 【关键词】真空设备,,真空获得,,氦质谱检漏,,真空度,,残气质谱分析,,液氦,,热冲击实验
【摘要】对于真空获得来说,最感棘手的工作是仅当设备冷却时,漏孔才显现出来。这就是所谓“冷漏”现象。经常会有这样的情况,即在常温下漏孔确实是存在的,但由于漏率很小,即使采用高灵敏度检漏仪也检验不出来。然而当系统长时期承受冷热冲击后,特别是在使用低温液体(液氮、液氦等)冷却后,由于材料的胀缩率不同,加之较高的气体密度和较低的粘度。
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