气体名称 |
化学式 |
规格(%) |
杂质(ppm) |
二氧化硫 |
SO2 |
99.9% |
氧+氮<100,水<10,其他<200 |
一氧化氮 |
NO |
99.5% |
氧化亚氮<4000、二氧化氮<2000、氮气<300、二氧化碳<500 |
二氧化氮 |
NO2 |
99.9% |
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氧化亚氮 |
N2O |
99.99% |
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氖 |
Ne |
99.995% |
H2≤2 N2≤5 He≤40 THC≤1 O2+Ar≤2 H2O≤2 |
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99.999% |
O2≤1 N2≤5 H2O≤2 He≤10 |
氪 |
Kr |
99.99% |
N2≤20 H2≤2 O2+Ar≤5 Xe≤50 H2O≤3 THC≤3 |
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99.998% |
N2≤3 H2≤0.5 O2+Ar≤2 Xe≤4 H2O≤2.6 THC≤1 |
氙 |
Xe |
99.99% |
N2≤20 Ar≤10 N2O≤1 O2≤2 H2≤2 Kr≤50 H2O≤3 HC≤3 |
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99.998% |
N2≤3 THC≤1 N2O≤0.5 O2+Ar≤2 H2O≤2.6 H2≤0.5 Kr≤4 |
硫化氢 |
H2S |
99.9% |
氢气<200ppm、氧气+氮气<100ppm、水<3ppm |
液氯
Cl2 |
99.9% |
二氧化碳<400、一氧化碳 <10、氢气<200、氮气<100、氧气<20、水 <100 |
99.999% |
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氨 |
NH3 |
99% |
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99.999% |
氧气 <1.0ppm, 氮气 <2.0ppm,一氧化碳<1.0ppm水含量<2.0ppm,THC(C1~C3) <1.0ppm |
六氟化硫 |
SF6 |
99.99% |
O2≤10 H20≤5 N4≤40 HF≤0.1 CF4≤25 |
合成空气 |
Air |
O2:19.5~22.5% |
H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤5 |
零空气 |
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O2: 19.5~22.5% |
H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤0.1 |