第二讲：真空物理基础(8)

第二讲：真空物理基础(8)
张世伟
(东北大学)

    流导是各种真空系统元件（管道、阀们、冷阱、孔口等）的主要技术指标之一，直接反映该元件对气体流动的阻碍程度，是真空系统计算中需要首先计算的参数。元件的流导与所流过气体的流动状态有关，气体流动为粘滞流时，流导值与元件的几何结构尺寸及流过气体的平均压力有关；为分子流时，流导仅与几何结构尺寸有关。
    根据组成真空系统的需要，有时将几个真空元件(如管道)的入口和出口分别联接在一起，称为元件的并联，并联后元件的总流导等于各分支流导之和
                C=C₁+C₂+…+C_n    (32)
有时将几个元件首尾顺序联接，称为元件的串联，串联后元件的总流导的倒数等于各元件流导的倒数之和
                1/C = 1/C₁+1/C₂+…+1/C_n    (33)
    把一个被抽容器的出口和一台真空泵的入口，用总流导为C的真空管路联接起来，若真空泵在其入口处的抽速为S，则该真空系统在被抽容器出口处所能产生的有效抽速为S，则该真空系统在被抽容器出口处所能产生的有效抽速Se为
                Se = (S·C)/(S+C)    (34)
    此式习惯上称为真空技术基本方程。从中可以看出，在被抽容器出口产生的有效抽速Se，比泵口抽速S和管路流导C都要小；若要获得较大的Se，应该合理地搭配S和C，单独增大其中的一个，不能获得理想的结果。