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您当前的位置: 气体分离设备商务网 → 技术交流 --> 电子级气体技术及产品 --> 帖子:“电子气体的特性”
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帖子主题:电子气体的特性
楼主:游客1109 [2008/6/13 8:53:35]
1、砷烷 ( Arsine )

分子式:AsH3 分子量:77.946
熔点:-113.5 沸点:-62.5
气体密度 (-62.48,101.325X10-3Mpa):4.930kg/m3
临界温度:99.9 临界压力:6.6875MPa

纯度:99.999%
包装:钢瓶


杂 质 CH4 N2 O2 CO2 CO C2H6 C3H8 H2O PH3
含量<(ppm) 1 1 1 1 0.5 1 1 0.5 2



2、氯气 ( Chlorine )

分子式:Cl2 分子量:70.906
熔点:-100.98 沸点:-34.05
气体密度 (20,101.325X10-3Mpa):2.980kg/m3
临界温度:144 临界压力:7.71MPa

纯度:99.999%
包装:钢瓶


杂 质 N2 O2 CO CO2 H2 OHC H2O Total Metals
含量<(ppm) 1 1 1 1 0.1 0.5 1 0.5



3、二氯硅烷 ( Dichlorosilane )

分子式:SiH2Cl2 分子量:101.010
熔点:-122.0 沸点:8.2
气体密度 (25,101.325X10-3Mpa):4.168kg/m3
临界温度:176 临界压力:4.676MPa

纯度:99.9%
包装:钢瓶


杂 质 O2 N2 CO CO2 CH4 SiH3Cl SiHCl3 SiCl4
含量<(ppm) 1 1 1 1 1 1000 500 500



4、二氟甲烷 ( Difluoromethane )

分子式:CH2F2 分子量:52.024
沸点:-51.65
气体密度 (0,0.81Mpa):21.870kg/m3
临界温度:78.4 临界压力:5.83MPa

纯度:99.99%
包装:钢瓶


杂 质 O2 N2 CO2 H2 Acidity H2O
含量<(ppm) 10 40 5 50 0.5 30



5、锗烷 ( Germane )

分子式:GeH4 分子量:76.62
沸点:-88.4
气体相对密度 (Air=1):2.63
临界温度:34.8 临界压力:5.552MPa

纯度:99.999%
包装:钢瓶


杂 质 N2 O2 THC CO2 CO+Ge3H8 H2O GeH2CH4O GeClH4
含量<(ppm) 2 0.5 1 2 1 1 5 5



6、六氟乙烷 ( Hexafluoroethane )

分子式:G2F6 分子量:138.012
熔点:-100.7 沸点:-78.2
气体密度 (20,101.325X10-3Mpa):5.700kg/m3
临界温度:19.7 临界压力:2.98MPa

纯度:99.99%
包装:钢瓶


杂 质 Air CO CO2 H2O OHC THC Acidity
含量<(ppm) 30 1 1 3 50 1 0.7



7、乙硅烷 ( Disilane )

分子式:Si2H6 分子量:62.22
临界温度:-132.7

纯度:99.8%
包装:钢瓶


杂 质 THC H2 有机硅 CO2 CO O2 H2O 三硅化物 SiF4 总氯
含量<(ppm) 10 100 50 1 1 1 1 1000 1000 3



8、氯化氢 ( Hydrogen Chloride )

分子式:HCl 分子量:36.461
熔点:-114.2 沸点:-85.0
气体密度 (25,101.325X10-3Mpa):1.500kg/m3
临界温度:51.4 临界压力:8.258MPa

纯度:99.999%
包装:钢瓶


杂 质 H2O N2 02 THC CO2 H2
含量<(ppm) 1 0.5 0.5 0.1 1 1



9、三氟化氮 ( Nitrogen Trifluoride )

分子式:NF3 分子量:71.002
熔点:-206.79 沸点:-129.0
气体密度 (20,101.325X10-3Mpa):2.960kg/m3
临界温度:-39.3 临界压力:4.53MPa

纯度:99.99%
包装:钢瓶


杂 质 H2O N2 O2 CO2 CO CF4 SF6 N2O Acidity
含量<(ppm) 10 10 5 5 5 40 10 5 1



10、四氟化硅 ( Silicon Tetrafluoride )

分子式:SiF4 分子量:104.08
熔点:-95.7 沸点:-90.2
气体密度 (20,101.325X10-3Mpa):4.370kg/m3
临界温度:-14.2 临界压力:3.715MPa

纯度:99.999%
包装:钢瓶


杂 质 N2 O2 CO2 CO THC As,P,B
含量<(ppm) 3 1 1 0.5 10 0.5



11、六氟化硫 ( Sulfur Hexafluoride )

分子式:SF6 分子量:146.054
熔点:-50.8 沸点:-63.7
气体密度 (0,101.325X10-3Mpa):6.520kg/m3
临界温度:45.5 临界压力:3.769MPa

纯度:99.99%
包装:钢瓶


杂 质 CF4 Air Acidity THC H2O
含量<(ppm) 30 30 0.5 3 5



12、六氟化钨 ( Tungsten Hexafluoride )

分子式:WF6 分子量:297.92
熔点:2.5 沸点:17.5
气体密度 12.7kg/m3
临界温度:169.8 临界压力:4.2658MPa

纯度:99.999%
包装:钢瓶


杂 质 CF4 N2 O2 CO2 CO SiF2 HF SF6 Total Metals
含量<(ppm) 1 5 1 1 0.5 1 10 1 1



13、四氟化碳 ( Carbon Tetrafluoride )

分子式:CF4 分子量:88.005
熔点:-186.8 沸点:-128.0
气体密度 (0,101.325X10-3Mpa):3.946kg/m3
临界温度:-45.6 临界压力:3.739MPa

纯度:99.99%
包装:钢瓶


杂 质 H2O N2 O2 C-F CO2 HF
含量<(ppm) 5 20 5 15 5 0.1



14、硅烷 ( Silane )

分子式:SiH4 分子量:32.118
熔点:-185 沸点:-111.5
气体密度 (0,0.1Mpa):1.420kg/m3
临界温度:-3.4 临界压力:4.843MPa

纯度:99.9999%
包装:钢瓶


杂 质 CH4 N2 O2 CO2 CO T-Cl H2O H2 AsH3 H2S PH3
含量<(ppm) 0.1 1 0.5 0.1 0.1 0.5 0.5 50 1X10-3 1X10-3 1X10-4
第1楼:游客7402 [2008/6/13 8:53:34]
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