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1、砷烷 ( Arsine ) 分子式:AsH3 分子量:77.946 熔点:-113.5 沸点:-62.5 气体密度 (-62.48,101.325X10-3Mpa):4.930kg/m3 临界温度:99.9 临界压力:6.6875MPa 纯度:99.999% 包装:钢瓶 杂 质 CH4 N2 O2 CO2 CO C2H6 C3H8 H2O PH3 含量<(ppm) 1 1 1 1 0.5 1 1 0.5 2 2、氯气 ( Chlorine ) 分子式:Cl2 分子量:70.906 熔点:-100.98 沸点:-34.05 气体密度 (20,101.325X10-3Mpa):2.980kg/m3 临界温度:144 临界压力:7.71MPa 纯度:99.999% 包装:钢瓶 杂 质 N2 O2 CO CO2 H2 OHC H2O Total Metals 含量<(ppm) 1 1 1 1 0.1 0.5 1 0.5 3、二氯硅烷 ( Dichlorosilane ) 分子式:SiH2Cl2 分子量:101.010 熔点:-122.0 沸点:8.2 气体密度 (25,101.325X10-3Mpa):4.168kg/m3 临界温度:176 临界压力:4.676MPa 纯度:99.9% 包装:钢瓶 杂 质 O2 N2 CO CO2 CH4 SiH3Cl SiHCl3 SiCl4 含量<(ppm) 1 1 1 1 1 1000 500 500 4、二氟甲烷 ( Difluoromethane ) 分子式:CH2F2 分子量:52.024 沸点:-51.65 气体密度 (0,0.81Mpa):21.870kg/m3 临界温度:78.4 临界压力:5.83MPa 纯度:99.99% 包装:钢瓶 杂 质 O2 N2 CO2 H2 Acidity H2O 含量<(ppm) 10 40 5 50 0.5 30 5、锗烷 ( Germane ) 分子式:GeH4 分子量:76.62 沸点:-88.4 气体相对密度 (Air=1):2.63 临界温度:34.8 临界压力:5.552MPa 纯度:99.999% 包装:钢瓶 杂 质 N2 O2 THC CO2 CO+Ge3H8 H2O GeH2CH4O GeClH4 含量<(ppm) 2 0.5 1 2 1 1 5 5 6、六氟乙烷 ( Hexafluoroethane ) 分子式:G2F6 分子量:138.012 熔点:-100.7 沸点:-78.2 气体密度 (20,101.325X10-3Mpa):5.700kg/m3 临界温度:19.7 临界压力:2.98MPa 纯度:99.99% 包装:钢瓶 杂 质 Air CO CO2 H2O OHC THC Acidity 含量<(ppm) 30 1 1 3 50 1 0.7 7、乙硅烷 ( Disilane ) 分子式:Si2H6 分子量:62.22 临界温度:-132.7 纯度:99.8% 包装:钢瓶 杂 质 THC H2 有机硅 CO2 CO O2 H2O 三硅化物 SiF4 总氯 含量<(ppm) 10 100 50 1 1 1 1 1000 1000 3 8、氯化氢 ( Hydrogen Chloride ) 分子式:HCl 分子量:36.461 熔点:-114.2 沸点:-85.0 气体密度 (25,101.325X10-3Mpa):1.500kg/m3 临界温度:51.4 临界压力:8.258MPa 纯度:99.999% 包装:钢瓶 杂 质 H2O N2 02 THC CO2 H2 含量<(ppm) 1 0.5 0.5 0.1 1 1 9、三氟化氮 ( Nitrogen Trifluoride ) 分子式:NF3 分子量:71.002 熔点:-206.79 沸点:-129.0 气体密度 (20,101.325X10-3Mpa):2.960kg/m3 临界温度:-39.3 临界压力:4.53MPa 纯度:99.99% 包装:钢瓶 杂 质 H2O N2 O2 CO2 CO CF4 SF6 N2O Acidity 含量<(ppm) 10 10 5 5 5 40 10 5 1 10、四氟化硅 ( Silicon Tetrafluoride ) 分子式:SiF4 分子量:104.08 熔点:-95.7 沸点:-90.2 气体密度 (20,101.325X10-3Mpa):4.370kg/m3 临界温度:-14.2 临界压力:3.715MPa 纯度:99.999% 包装:钢瓶 杂 质 N2 O2 CO2 CO THC As,P,B 含量<(ppm) 3 1 1 0.5 10 0.5 11、六氟化硫 ( Sulfur Hexafluoride ) 分子式:SF6 分子量:146.054 熔点:-50.8 沸点:-63.7 气体密度 (0,101.325X10-3Mpa):6.520kg/m3 临界温度:45.5 临界压力:3.769MPa 纯度:99.99% 包装:钢瓶 杂 质 CF4 Air Acidity THC H2O 含量<(ppm) 30 30 0.5 3 5 12、六氟化钨 ( Tungsten Hexafluoride ) 分子式:WF6 分子量:297.92 熔点:2.5 沸点:17.5 气体密度 12.7kg/m3 临界温度:169.8 临界压力:4.2658MPa 纯度:99.999% 包装:钢瓶 杂 质 CF4 N2 O2 CO2 CO SiF2 HF SF6 Total Metals 含量<(ppm) 1 5 1 1 0.5 1 10 1 1 13、四氟化碳 ( Carbon Tetrafluoride ) 分子式:CF4 分子量:88.005 熔点:-186.8 沸点:-128.0 气体密度 (0,101.325X10-3Mpa):3.946kg/m3 临界温度:-45.6 临界压力:3.739MPa 纯度:99.99% 包装:钢瓶 杂 质 H2O N2 O2 C-F CO2 HF 含量<(ppm) 5 20 5 15 5 0.1 14、硅烷 ( Silane ) 分子式:SiH4 分子量:32.118 熔点:-185 沸点:-111.5 气体密度 (0,0.1Mpa):1.420kg/m3 临界温度:-3.4 临界压力:4.843MPa 纯度:99.9999% 包装:钢瓶 杂 质 CH4 N2 O2 CO2 CO T-Cl H2O H2 AsH3 H2S PH3 含量<(ppm) 0.1 1 0.5 0.1 0.1 0.5 0.5 50 1X10-3 1X10-3 1X10-4
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