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| 帖子主题：四氟化碳的特性和应用 |
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四氟化碳的特性 在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，发挥性较高，是最稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与铜、镍、钨、鉬反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015％（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。 四氟化碳的应用 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯阳氧气的混合体，可 广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 |
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